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日本ULVAC愛發科 真空泵VPC-260F 奈良總經銷 
品牌: ULVAC/愛發科
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 VPC-260F





規格參數:

型 號
VPC-260F
真空性能
極限壓力
1.3 × 10-3Pa
6.6 × 10-4Pa (使用液氮時)
排氣時間
4.0 × 10-3Pa/20min
1.3 × 10-3Pa/20min (使用液氮時)
真空艙
鐘罩尺寸
玻璃鐘罩 (直徑300mm × 300mm(H))
饋通圈
8個端口(8側面)
標準基板??最大尺寸※1
□50mm ?? □140mm(最大)
供電系統
蒸發電極結構
1點式
蒸發電源
SEREM “PSE-150C”, 0 – 10V , 150A (最大)
排氣系統
主泵
油擴散泵(氣冷) 200 L/sec
液氮冷阱
前級泵
油旋片真空泵 100 L/min
油霧過濾器
可選
操作系統
主閥門
瓣閥
副閥門
三向切換閥
自動滲漏閥
可選
控制
手動控制
控制系統
皮拉尼真空計
可選
電離真空計
可選
外形
尺寸(主體)
530mm(W) × 550mm(D) × 1135mm(H)
尺寸(蒸發電源)
480mm(W) × 435.3mm(D) × 149mm(H)
重量(主體)
75kg
重量(蒸發電源)
40kg

特性:

在管架上緊密安裝了主泵、輔助泵、真空管、電力系統、壓力測量口等必要機器的電阻加熱式低成本小型真空蒸發裝置。最適合用于小基板尺寸的基礎研究開發等實驗。

應用:

1. 帶腳輪,容易移動的排氣裝置。
2. 通過玻璃鐘罩可看到內部,操作性能良好。
3. 不會使主泵停止運轉,可以對真空槽進行開放。
4. 通過蒸發電源和電極的追加,實現同時蒸鍍和多層蒸鍍。


  我司經營品牌主要有:日本ENDO遠藤 、日本YODOGAWA淀川、日本萊茵LINE,日本KURITA栗田,日本PEAK必佳,日本TECLOCK得樂,日本SANWA三和,日本ONOSOKKI小野測器,日本TERAL泰拉爾,日本TERADA寺田,日本PISCO匹士克,日本FUSOSEIKI 扶桑精機,日本IMADA依夢達,日本MASUDA增田,日本IDEAL-TEK瑞士,日本OLFA愛利發,日本showa昭和,日本KUBOTA久保田,日本ORIENT,日本TRUSCO中山,日本KITZ北澤,日本NICHIBAN米其邦,日本NICHIAS,日本URYU瓜生,日本UHT優秀,日本MINIMO迷你魔,日本YOKOTA橫田,日本SHINANO信濃,日本KANETEC強力,日本MITOLOY水戶工機,日本TONE前田,日本ENGINEER工程師,日本OSAWA大澤,日本HIOKI日置,日本BONKOTE邦可,日本ESCO,日本OJIDEN大阪,日本MIDORI綠安全,日本TRINC高柳,日本Nanabosi七星研究所,日本TAIYO太陽鐵工,日本KORI古里,日本NS日進,日本MUSASHI武藏,日本RYOBI利優比,日本ASONE亞斯旺,BOSCH博世,日本TSUKASA馳卡沙,日本KOSHIN工進,日本SIMCO思美高,日本KASUGA春日,日本NUNOME布目,日本KYOWA共和,日本ULVAC愛發科,價格優惠,備有大量庫存,歡迎來電查詢!

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