深圳市奈良機工貿易有限公司
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特長
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- SV-4540、6040、9045はカルーセル型で基板仕込み量が多く、小～中規模あるいは、少量多品種の生産に最適
- SV-200 ディスクスタンパNi成膜に特化した裝置、超小型、全自動、ハイスループットを実現
用途
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仕様
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| | SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 |
| 標準排気系 | 8"クライオポンプ | 12"クライオポンプ | 12"クライオポンプ | 16"クライオポンプ |
| 到達圧力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| デポ方向 | サイド | サイド | サイド | サイド |
成膜エリア 均一性
靜止
回転 | φ200mm ± 5% | L300mm ± 10% | L300mm ± 10% | L400mm ± 10% |
| 基板加熱 | 無し | 250°C | 250°C | 250°C |
| 制御系 | 自動 | 自動 | 自動 | 自動 |
オプション
SV-200を除く | ターボポンプ | 非水冷電極 |
| 油拡散ポンプ | APC機構 |
| 多元同時デポ | 基板反転機構 |
| ダウンデポ | 反応性スパッタ |
| コンベンショナルカソード | |
| 強磁性體用カソード | |
| RFエッチクリーニング(SV-4540) | |
| バイアス機構(SV-4540) | |
我司經營品牌主要有：日本ENDO遠藤 、日本YODOGAWA淀川、日本萊茵LINE，日本KURITA栗田，日本PEAK必佳，日本TECLOCK得樂,日本SANWA三和,日本ONOSOKKI小野測器,日本TERAL泰拉爾,日本TERADA寺田,日本PISCO匹士克,日本FUSOSEIKI 扶桑精機，日本IMADA依夢達,日本MASUDA增田，日本IDEAL-TEK瑞士，日本OLFA愛利發，日本showa昭和，日本KUBOTA久保田，日本ORIENT，日本TRUSCO中山，日本KITZ北澤，日本NICHIBAN米其邦，日本NICHIAS，日本URYU瓜生，日本UHT優秀，日本MINIMO迷你魔，日本YOKOTA橫田，日本SHINANO信濃，日本KANETEC強力，日本MITOLOY水戶工機，日本TONE前田，日本ENGINEER工程師,日本OSAWA大澤,日本HIOKI日置，日本BONKOTE邦可，日本ESCO,日本OJIDEN大阪,日本MIDORI綠安全,日本TRINC高柳,日本Nanabosi七星研究所,日本TAIYO太陽鐵工,日本KORI古里,日本NS日進，日本MUSASHI武藏,日本RYOBI利優比,日本ASONE亞斯旺，BOSCH博世,日本TSUKASA馳卡沙,日本KOSHIN工進,日本SIMCO思美高，日本KASUGA春日,日本NUNOME布目,日本KYOWA共和,日本ULVAC愛發科,價格優惠，備有大量庫存，歡迎來電查詢！
奈良-陳先生
